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【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)の運用方法変更のお知らせ

2017/07/28(金)

8月より、【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)の運用方法を下記の通り変更させていただきます。
・ターゲット交換は従来通り、技術代行としてスタッフが行いますが、交換日を相談させていただきます。
・ターゲット交換は原則1回/週とさせていただきます。
・現在のターゲット配置は予約画面にお知らせします。現在と異なるターゲットを使用希望の方は、ターゲット配置、希望日をスタッフ又は事務局までメールにてご連絡下さい。
ご不便をおかけすることもあるかと思いますが、何卒宜しくお願い致します。 担当:鈴木

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