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装置配置換え工事【8/23~25】

2017/07/28(金)

大規模な装置の配置換え工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。


※※※ 記 ※※※

※ 装置の搬出(1Fクリーンルーム): 8月24日(木) 終日予定

搬出対象装置:
【NPF002】電子線描画装置(日立)
【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]

影響を受けるエリアと近隣装置:

141室~CR2 → 大扉の開放、イエロールームへ一部通常光が差し込みます。
【NPF006】マスクレス露光装置
【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]

144室~CR1 → 振動が発生します。
【NPF072】微小部蛍光エックス線分析装置
【NPF021】プラズマアッシャー
【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)
【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
【NPF005】低真空走査電子顕微鏡


※ 装置の搬入(2F実験室): 8月23日(水) 午後 ~ 8月25日(金)終日予定

搬入対象装置: 244室~奥の小部屋へ
【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]
【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)

1Fクリーンルームから搬出した「ナノプローバ」と「新規にFE-SEM」が2F実験室奥に
搬入されます。
23日に下準備として作業があり、移設本番は24日、25日にセッティング工事。

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。

NPF事務局

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