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2-12棟屋上スクラバー定期検査【10/15】

2018/09/07(金)

屋上スクラバーの定期検査について

2-12棟屋上スクラバーの点検作業が
下記の日程で予定しております。

※※※ 記 ※※※

作業日 :
平成 30年 10月15日(月) (終日予定)

影 響 :
検査中はCR5室系統の排気ファンが停止いたしますので
これらを使用している装置は運転できません。

利用停止装置:
【NPF018】反応性イオンエッチング装置 (RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF030】プラズマCVD装置(TEOS_SiO2)
【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL]
【NPF081】プラズマCVD装置(SiN)
【NPF082】ICP-RIE(化合物半導体用)

以上、ご注意のほど実験計画をいただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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