トップページ施設運転情報

施設運転情報

2-12棟屋上スクラバー定期検査【10/16】

2020/09/15(火)

屋上スクラバーの定期検査について

2-12棟屋上スクラバーの点検作業が
下記の日程で予定しております。

※※※ 記 ※※※

作業日 :
令和 2年 10月16日(金) (終日予定)

影 響 :
検査中はCR5室系統の排気ファンが停止いたしますので
これらを使用している装置は運転できません。

利用停止装置:
【NPF018】反応性イオンエッチング装置 (RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL]
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)

以上、ご注意のほど実験計画をいただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

PAGE TOP