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クリーンルーム実験室電源工事に伴う部分停電について【1/26~30】

2018/01/12(金)

クリーンルーム実験室電源工事に伴う部分停電について

下記の日程にてクリーンルーム実験室CR2(141室)の電源工事を行います。

※※ 記 ※※

日 時:
1月26日(金) 9:00~ 1月30日(火) 17:00

作業内容:
新規装置導入準備に伴う141室系統(一部142室系統)の電源敷設工事

停電時間は「1月26日(金) 13:00~15:00」となり、停電期間中は以下の装置が使用不可能です。

停電期間中利用停止となる装置:
【NPF001】電子ビーム描画装置 (CRESTEC)
【NPF006】マスクレス露光装置
【NPF008】スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)
【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]
【NPF010】マスクアライメント露光装置
【NPF011】i線露光装置
【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
【NPF017】スマートウォーターバス[TB-1N]
【NPF042】クリーンオーブン(右)
【NPF043】クリーンオーブン(左)
【NPF046】走査プローブ顕微鏡SPM1[NanoscopeⅣ_Dimension3100]
【NPF047】走査プローブ顕微鏡SPM2[SPM-9600_9700]
【NPF048】ナノサーチ顕微鏡SPM3[SFT-3500]
【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
【NPF052】デバイス容量評価装置
【NPF061】短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
【NPF062】全焦点顕微鏡
【NPF063】分光エリプソメータ
【NPF065】顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
【NPF066】顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
【NPF084】デジタルマイクロスコープ

停電時間は2時間程度の予定ですが、その前準備などにより141室(CR2エリア)付近での
作業などが行われます。

ご迷惑をおかけしますがよろしくお願いします。
NPF事務局

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