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施設運転情報

CR5クリーンルームのクリーン度低下

2018/02/07(水)

現在、CR5クリーンルームエリアにおきまして「清浄度の低下」が起こっております。

原因調査も含め対応を行っておりますが、現状では「クラス10000」を維持できていないことが
ありますので、実験の際にはご注意いただきますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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