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【NPF023】電子ビーム真空蒸着装置運用ルールの一部変更について

2018/06/14(木)

最近、【NPF023】電子ビーム真空蒸着装置の蒸着源の交換リクエストが非常に混雑しており、
長い期間お待たせすることが度々起こり、大変ご迷惑をおかけしています。
混雑緩和のために、次回の交換から最大3種類の材料まで交換可能とする運用に変更いたします。

Ti、Cr、Au、Ni、Pt は従来どおり、常時セットされています。

(常時セットからMoが外されましたので、ご注意ください。
Moご利用の際は、なるべくお早めに担当者まで交換依頼をお願いします。)

2018年6月28日のメンテナンスより変更いたします。

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