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施設運転情報

【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)利用停止

2018/07/31(火)

【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)は、装置故障のため当面の間利用停止となります。
利用再開の見通しが立ちましたら連絡させていただきます。

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