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スパッタ成膜装置(芝浦)の予約ルールの変更について

2018/08/29(水)

スパッタ成膜装置(芝浦)は、これまで混雑対応として予約時の規制を行ってきましたが、
現在【NPF025】と【NPF095】の2台体制となり、棲み分けも進めていくこともあり、
予約規制の一部緩和を行います。

2018年9月1日より、

・「1回に使用できる最大時間帯を原則として2枠/日に区切る」 → 「廃止」
・「2日以上の複数予約」 → 「原則禁止は変わらず。ただし事情を鑑みて柔軟に対応」

この規制緩和によって最大9:00~19:00の予約ができますが、17:00以降のご使用は熟練者のみとします。

その他の注意事項は、装置予約画面にて表示していますので熟読のうえ装置利用をお願いいたします。

装置担当:鈴木(222-41607)

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