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施設運転情報

ULVACスパッタ装置利用停止

2018/11/21(水)

【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)は、基板ホルダーチャック部の故障のため利用停止とします。

修理でき次第ご連絡します。

装置担当:鈴木

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