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ECRスパッタ装置、今年度内で共用廃止【2月】

2018/12/27(木)

【NPF027】ECRスパッタ成膜装置は、今後の運用に関し近日中の共用廃止を予定しております。

具体的な日程は現在調整中ですが、2019年2月中を目途に共用停止→装置撤去→廃却処分
となります。

これまでのご利用ありがとうございました。

NPF事務局

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