トップページ施設運転情報

施設運転情報

マスクアライメント装置入れ替えと旧装置の用途変更

2019/01/28(月)

【NPF010】マスクアライメント露光装置は、装置入れ替えにより、
旧装置をイエロールームから出して「全面・反転露光」を目的とした用途に再利用します。

新装置の供用は現在準備中です。
【NPF010】とは別装置扱いとなりますので、改めてトレーニング受講していただくことになります。

フォトマスクを用いたオペレーションは、極力【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]を
ご利用いただくことを推奨いたします。 (こちらもトレーニングは別途受けていただきます)

なお「旧装置」は、ホットプレートなどと同様な簡易装置としてご利用いただけますので装置予約の
必要はありません。

NPF事務局

PAGE TOP