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施設運転情報

【NPF030】プラズマCVD堆積装置が故障

2019/03/06(水)

【NPF030】プラズマCVD堆積装置が故障したため一時利用停止とします。
具体的な復旧の日程は調整中です。

ご迷惑をお掛けしますが、よろしくお願い致します。

装置担当:赤松

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