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施設運転情報

多目的エッチング装置(ICP-RIE)C4F8ガス追加

2019/03/13(水)

【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)でC4F8ガス(最大流量100sccm)が利用できるようになりました。
利用方法は装置備え付けのマニュアルを参照してください。

装置担当:赤松

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