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電子ビーム描画装置・高速電子ビーム描画装置の予約ルールについて

2019/03/27(水)

2019年度より、電子ビーム描画装置(2台)について以下のように予約ルールを設定します。

「電子ビーム描画装置・高速電子ビーム描画装置の予約ルール」

電子線描画装置は利用希望により以下の時間帯で装置予約してください。

日中の場合 利用日の9:30~17:00
夜間・休日の場合 利用日の17:00~取り出し日の9:30

尚、直前に予約がない場合はそれぞれ開始時間を30分早めても良いです。
また、終了時点で予約を確認し、装置が空いている場合は引き続いて装置を予約でき ます。
但し、あらかじめ16時間以上の描画を希望する場合、他に特別な事情がある場合、
それぞれの場合は装置担当者へお問い合わせください。

注)夜間・休日利用では装置担当者の勤務時間外になります。
問い合わせなどの補助ができませんので、あらかじめご了承ください。
以上。

装置担当:佐藤

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