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施設運転情報

【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)チラー故障

2019/05/13(月)

【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)は冷却水循環装置が故障したたため、利用停止とさせていただきます。
復旧次第ご連絡致します。

【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)は利用可能です。

装置担当:鈴木

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