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施設運転情報

FIBとFE-SEM(2F)の移設工事【9/13~20】

2019/08/05(月)

大規模な装置の移設工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。


※※※ 記 ※※※

【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB)の移設(CR1クリーンルーム→2F実験室)
【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] の移設(2F実験室内)

日時: 令和元年9月13日(金)~20日(金)
場所: CR1クリーンルーム、2F実験室

対象装置を分解・移設し、据え付け及び各種配線工事を行います。

※ 移設日程
・9/13(金):FIBとFE-SEM(2F) 解体
・9/17(火):FIBとFE-SEM(2F) 移動
・9/18(水)~20(金):FIBとFE-SEM(2F) 組み立て・立上げ、ナノプローバのディスプレイ部移動

※ 各装置の利用停止
解析室内(2F実験室)
・【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB): 9/13~20 終日
・【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] :9/13~20 終日
・【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]: 9/13~20 終日
・【NPF047】走査プローブ顕微鏡SPM2[SPM-9600_9700]: 9/13~20 終日

解析室外(2F実験室)
・【NPF087】ワイヤーボンダー(2F): 9/17~20 終日
・【NPF059】レーザー顕微鏡 [VK-8510]: 9/17~20 終日
・【NPF062】全焦点顕微鏡: 9/17~20 終日
・【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯): 9/17~20 終日
・【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS): 9/17 終日
・【NPF070】エックス線回折装置(XRD): 9/17 終日
・【NPF074】エックス線光電子分光分析(XPS)装置:9/17 終日

CR1クリーンルーム
・【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス):9/13 終日、9/17 9:00~15:00
・【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC): 9/17 9:00~15:00
・【NPF072】微小部蛍光X線分析装置: 9/17 9:00~15:00

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。
以上ご注意のほど実験計画いただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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