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新規ALD装置の搬入工事【9/18】

2019/08/26(月)

大規模な装置の搬入工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。

※※※ 記 ※※※

・新規ALD装置の搬入・据え付け工事(CR5クリーンルーム)

日時: 令和元年9月18日(水) 終日
場所: CR5クリーンルーム

新しい装置の搬入・据え付け工事が行われます。
搬入経路として146室側前室を通るため、ウェア着付けなどに支障が出る場合がありますので
ご注意ください。

※ 周辺装置の利用停止
CR5クリーンルーム(146室側)
・【NPF024】抵抗加熱型真空蒸着装置
・【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
・【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
・【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
・【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。
以上ご注意のほど実験計画いただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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