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施設運転情報

【NPF095】芝浦スパッタ装置故障のため使用できません【8/30~】

2019/08/30(金)

【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)はTMPが故障したため、利用停止とさせていただきます。

復旧次第ご連絡致します。

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