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施設運転情報

FIBとイオンコーター(FIB付帯)の設置場所の変更【追記】

2019/10/03(木)

以下の装置の設置場所を1階クリーンルーム(144室)から2階実験室(244室)へ変更しました。

【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
【NPF035】イオンコーター(FIB付帯)

また、今回の移設は集束イオンビーム加工観察装置(FIB)にて発生していた騒音によるノイズ
の対策として行いましたが、以下の様に大きく改善することができました。

移設前:1階クリーンルーム(144室)
→ 最大時には加工/観察倍率で5千倍から影響有り(ノイズ発生)。

移設後:2階実験室(244室)
→ 加工/観察倍率で9万倍まで影響無し(ノイズ無し)。

注:イオンビームを使用した装置であるため、スパッタ(エッチング)の影響は
材料ごとに変わり、観察倍率の上限は変化します。

お問い合わせは、装置担当:飯竹 までお願いいたします。

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