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施設運転情報

プラズマCVD装置(TEOS)故障のため利用停止

2019/09/27(金)

【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置は故障が発生したため、利用停止とさせていただきます。

復旧次第ご連絡致します。なお、【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)でSiO2は成膜可能です。

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