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施設運転情報

【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL] 利用停止 11/11~11/19

2019/11/06(水)

【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL]が11/11~11/19の期間、隣に設置された装置の
ガス配管及び排気ダクト接続作業に伴い利用停止となります。

また、期間中は【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)の近くに設置されているN2ガンが利用できません。
CR5において作業を行い、振動、クリーン度の低下が想定されます。ご了承ください。

詳細は、装置担当へお問い合わせください。

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