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施設運転情報

新規装置搬入工事【2/28】

2020/01/24(金)

大規模な装置の配置換え工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。

※※※ 記 ※※※

ECRスパッタ装置(仮称)の搬入(CR5クリーンルーム)

日時: 2月28日(金) 午後
場所:CR5クリーンルーム廊下側

対象装置を新規に搬入し、据え付け及び各種配線、配管工事を行います。

・装置本体の搬入 → CR5大扉の開放を伴います。

近隣装置の利用停止: 13:00~19:00
【NPF024】抵抗加熱型真空蒸着装置
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
【NPF033】アルゴンミリング装置
【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。

NPF事務局

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