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施設運転情報

新規装置搬入工事【2/12~18】(2/7追記)

2020/01/29(水)

装置搬入を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。

※※※ 記 ※※※

オゾン発生装置(仮称)の搬入(CR5クリーンルーム)

日時: 2月12日(水) 午後
場所:CR5クリーンルーム廊下側

・装置本体の搬入 → CR5大扉の開放を伴います。

近隣装置の利用停止: 13:00~19:00
【NPF024】抵抗加熱型真空蒸着装置
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
【NPF033】アルゴンミリング装置
【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)

また、2/12(水)~2/18(火)の期間に接続工事を行います。
この期間も「クリーン度の低下」「異常振動」が予想されます。 ご注意ください。

2/14(金)に排風機停止を伴う接続工事が行われます。
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
【NPF018】反応性イオンエッチング装置 (RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
これらの装置が利用停止になります。

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。

NPF事務局

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