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施設運転情報

化合物半導体エッチング装置 利用停止

2020/07/03(金)

【NPF082】化合物半導体エッチング装置は、エッチングガス納入待ちのためご利用できません。
ガス交換が終了するまでしばらくの間利用停止とさせていただきます。

装置担当:川又

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