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施設運転情報

i線露光装置の状況について

2020/11/06(金)

【NPF011】i線露光装置の状況についてお知らせいたします

故障の原因が判明したので、復旧に向けた準備を進めております。
利用再開の見通しは、来月初め頃までには明確になると思います。

再開までご迷惑をお掛けしますが、ご了承下さいます様お願い致します。

装置担当:増田

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