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施設運転情報

【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL] 一部成膜不可

2020/10/13(火)

2020年11月末以降から【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL]の一部プリカーサの更新を行っていく予定です。
対象プリカーサは取り外してから取り付けるまで、3か月程度の期間成膜できなくなります。

成膜できなくなる膜は下記のとおりです。
ZnO、TiN、HfO2、HfN

これらの材料の成膜をご予定の場合は早急にご相談ください。

詳細は、装置担当へお問い合わせください。

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