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施設運転情報

多目的エッチング装置 C4F8ガス使用不可

2020/10/28(水)

【NPF019】多目的エッチング装置 C4F8ガス使用不可
C4F8はMFCの不具合により、しばらくの間使用停止とさせていただきます。
その他のガスにつきましては、通常通り利用可能です。

装置担当:川又

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