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施設運転情報

多目的エッチング装置ご利用上の注意

2020/12/24(木)

※ C4F8ガス使用再開

【NPF019】多目的エッチング装置

MFCの交換を行いましたので、通常通り利用可能です。


※ ICP Powerの利用上限値の設定

【NPF019】多目的エッチング装置
【NPF082】化合物エッチング装置

チャンバー内の部品が破損する恐れがあるため、ICP Powerの利用
上限値を500W以下とさせていただきます。


装置担当:川又

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