トップページ施設運転情報
施設運転情報
多目的エッチング装置ご利用上の注意
2020/12/24(木)
※ C4F8ガス使用再開
【NPF019】多目的エッチング装置
MFCの交換を行いましたので、通常通り利用可能です。
※ ICP Powerの利用上限値の設定
【NPF019】多目的エッチング装置
【NPF082】化合物エッチング装置
チャンバー内の部品が破損する恐れがあるため、ICP Powerの利用
上限値を500W以下とさせていただきます。
装置担当:川又
