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施設運転情報

エリオニクスEB描画装置は故障のため利用停止

2020/11/04(水)

【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)は故障のため利用停止とさせて頂きます。
復旧の目途が立ちましたらアナウンス致します。

装置担当:佐藤

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