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施設運転情報

【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL] 利用停止 2021/2/26~3/5

2021/01/28(木)

【NPF031】原子層堆積装置[FlexAL]が2021/2/26~3/5の期間、
定期メンテナンス作業等のため利用停止となります。

メンテナンス前後は混みあうことが予想されますのでご予定の場合はお早めに
ご連絡ください。

詳細は、装置担当へお問い合わせください

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