施設運転情報

【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)への間欠照射機能追加

2021/02/19(金)

【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)へ間欠照射機能を追加します。この機能と加速電圧を下げることで試料冷却が可能となり、ある程度の低融点材料へのミリングが可能となります。

※ 2月24日～3月10日は工事・動作試験・マニュアル作成のため利用停止となります。3月11日以後にはご利用可能にする予定です。

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