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施設運転情報

クレステック電子ビーム描画装置 利用停止

2021/04/05(月)

【NPF001】電子ビーム描画装置 (CRESTEC)は、試料ステージ制御に不具合が発生しているため
利用停止とします。

修理見込みは現在未定です。

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