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施設運転情報

ULVACスパッタの撤去搬出【4/20~21】

2021/04/08(木)

【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)の撤去・搬出工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、クリーンルーム大扉開放を伴いますので「クリーン度の低下」「異常振動」が
予想されます。 ご注意ください。

※※※ 記 ※※※

【NPF026】RF・DCスパッタ装置(ULVAC)の撤去(CR1クリーンルーム)

日付: 4月20日(火) 解体作業、4月21日(水) 搬出作業
時間: 終日予定(9:00~17:00)
場所: CR1クリーンルームエアシャワー付近

対象装置を解体・搬出します。

解体作業時は電気・水・ガスの配管を操作するため
作業エリアへの立ち入りを制限させていただくことがあります。

搬出作業時には長時間の大扉開放を伴います。
横風の発生等によりクリーン度の低下の可能性があります。

影響を受ける近隣装置:
【NPF040】多目的高速加熱ランプ炉(RTA)
【NPF041】ウェハー酸化炉
【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)
【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF044】マッフル炉
【NPF021】プラズマアッシャー
【NPF072】微小部蛍光X線分析装置

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。

NPF事務局

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