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施設運転情報

低真空SEMの移設工事【10/26~29】

2021/10/08(金)

大規模な装置の移設工事を下記の日程・内容にて行います。
作業中、周辺装置に対して「異常振動」が予想されます。 ご注意ください。


※※※ 記 ※※※

【NPF005】低真空走査電子顕微鏡の移設(CR1クリーンルーム→2F実験室)

日時: 2021年10月26日(火)~29日(金)
場所: CR1クリーンルーム、2F実験室

対象装置を分解・移設し、据え付け及び各種配線工事を行います。
CR1クリーンルームは、同作業期間中は空調停止によりユーザ入室禁止です。

設置先:【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] 前付近

※ 移設日程
・10/26(火):SEM周辺機器の取り外し
・10/27(水):SEM本体の解体
・10/28(木):2F実験室へ搬入、設置
・10/29(金):組み立て・立上げ、動作確認

※ 設置先周辺装置の利用停止(10/28,29 終日予定)
・【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM](2F)
・【NPF053】ワイヤーボンダー(2F)
・【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
・【NPF070】エックス線回折装置(XRD)
・【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯)

※ レイアウト変更に伴い供用廃止になる装置
・【NPF059】レーザー顕微鏡 [VK-8510] →廃却
・【NPF062】全焦点顕微鏡 →一般顕微鏡として供用予定(予約不要)

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。
以上ご注意のほど実験計画いただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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