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施設運転情報

酸素供給集中化に伴う利用停止および利用制限について【1/5~25】

2021/12/01(水)

酸素供給集中化工事を下記の日程・場所にて行います。
作業中、周辺装置に対して「異常振動」、「パーティクル発生」が予想されます。 ご注意ください。

※※※ 記 ※※※

酸素供給集中化工事

日時: 2022年1月17日(月)~21日(金)
場所: CR1入口付近およびCR5クリーンルーム

酸素供給集中化工事に伴い、下記の通り装置の【利用制限】および【利用停止】が発生します。

--利用制限--
対象装置の酸素ガス供給停止 1/5(火)~1/18(火)
酸素ガスを使用しない実験は可能です。

【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)
【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)
【NPF099】原子層堆積装置[AD-100LP]

--利用停止--
1/5(火)~1/25(火)
【NPF041】ウェハー酸化炉

1/19(水)~1/25(火)
【NPF021】プラズマアッシャー (リソグラフィ付帯装置)
【NPF022】UVオゾンクリーナー
【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)
【NPF095】RF-DCスパッタ堆積装置(芝浦)
【NPF099】原子層堆積装置[AD-100LP]

詳細につきましては各装置担当へお問い合わせください。
以上ご注意のほど実験計画いただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局

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