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施設運転情報

単波長エリプソメータ 利用停止【期間未定】

2022/01/05(水)

【NPF096】単波長エリプソメータは、装置故障のため利用できません。
修理が終わり次第、利用再開情報を掲載いたします。

利用停止期間中は【NPF063】分光エリプソメータもしくは光学式膜厚計の利用をご検討ください。


装置担当:赤松

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