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施設運転情報

高速電子ビーム描画装置 利用停止【~1/31】

2022/01/06(木)

【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)は、電子銃のチップ交換および装置の保守管理の為、
1/31の17:00まで運用を停止します。

尚、日程に変更がある場合は追ってお知らせします。

装置担当:佐藤

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