施設運転情報

多目的エッチング装置 装置利用不可【～1/31】

2022/01/11(火)

【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)は、
TMP冷却水の漏れにより修理が完了するまでの間、装置利用を停止させていただきます。
ご迷惑をおかけしますが、よろしくお願いいたします。

装置担当:川又

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