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施設運転情報

装置の供用廃止と新規装置の紹介

2022/01/13(木)

2022年4月1日からの新規装置及び供用廃止となった装置についてお知らせいたします

※※ 新規装置(新年度からご利用可能)

【NPF100】解析用PC(L-Edit レイアウト・エディタ)
【NPF101】Si深堀エッチング装置〔PlasmaPro_100〕
【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL]
【NPF103】原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ)
【NPF105】ピュアオゾン供給装置
【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL]
【NPF108】SEM用イオンコーター
【NPF106】小型自動現像装置
【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス)
【NPF109】6インチ電子ビーム真空蒸着装置(アールデック)
【NPF110】レーザー描画装置[DWL66+]
【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー_2
【NPF113】スピンコーター(EB)
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_2


※※ 供用廃止装置(既に撤去済み)

【NPF040】多目的高速加熱ランプ炉(RTA)
【NPF043】クリーンオーブン(左)
【NPF058】ウェハー圧着機
【NPF059】レーザー顕微鏡 [VK-8510]
【NPF062】全焦点顕微鏡
【NPF097】両面アライナー

RTA炉は【NPF040】廃止により【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)へ
装置変更となります。
装置が【NPF040】と【NPF089】では大きく異なりますので、ライセンス未取得の方は
「トレーニング」から受講ください。 >【NPF040】はライセンス無効になります


※※ 利用形態変更

【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
【NPF013】ドラフトチャンバー(左)

これまで1台のドラフトを2分割利用していましたが、文字通り2台になります。
【NPF012】側には【NPF017】スマートウォーターバス[TB-1N]を、
【NPF013】側には【NPF008】スピンコーターが設置となりますが、
予約の組み合わせは混同しても可能とします。(柔軟的に運用)

【NPF014】有機ドラフトチャンバー_1
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_2

設置場所が『EBリソ現像室(144室奥)』になります。
すぐ左側に新設装置である【NPF112】有機ドラフトチャンバー_2があります。
【NPF112】側には【NPF113】スピンコーター(EB)が設置してあり、
EBリソグラフィ用途を優先して使用としますが、従来の有機ドラフト同様に
ご利用いただくことが可能です。
装置ライセンスは既に【NPF014】のライセンスをお持ちの方へは申告により
【NPF112】のライセンスを追加付与します。

【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー_1
【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー_2

従来【NPF014】があった場所に【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー_2が
新設されます。
【NPF111】側は、主に【NPF029】メッキ装置の優先使用を想定しますが、
従来の酸アルカリドラフト同様にご利用いただくことが可能です。
装置ライセンスは既に【NPF015】のライセンスをお持ちの方へは申告により
【NPF111】のライセンスを追加付与します。


以上、これからも新規装置の追加予定が準備ができ次第ご案内させていただきます。♪

NPF事務局

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